技术及产品
服务项目
技术参数
SE分辨率：3.0nm (30kV)，高真空模式
10nm (3kV)，高真空模式
BSE分辨率：4.0nm (30kV)，低真空模式
放大倍率： x5 ~ x300,000
加速电压：0.3 ~ 30 kV
低真空范围：6 ~ 270 Pa
最大样品尺寸：直径200mm
试验能力
用于腐蚀后的微观形貌的观察和腐蚀产物分析，放大倍数≤30万倍。
检测设备
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结构强度室
环境可靠性室
腐蚀防护室
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